今天“科學探索獎”第三屆獲獎名單公布，50位青年科學家上榜！
今日（9月13日）上午，2021年“科學探索獎”第三屆獲獎名單公布華中科技大學教授陳蓉獲得“先進制造”類獎項。
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今年共有50位青年科學家上榜他們將在未來5年各獲得由騰訊基金會資助的300萬元（稅后）獎金。
據組委會介紹，陳蓉教授的獲獎理由是，肯定她在原子制造的高精度定位、一致性和高效率方面取得的成果，支持她在集成電路先進制程的原子尺度協同制造方向進行探索。
記者梳理發現，該獎項啟動的三屆里，每一屆都有武漢學者獲獎，華中科技大學更是年年上榜。當天上午，長江日報記者連線華中科技大學教授陳蓉。
從硅谷回到光谷，她看好武漢的未來
陳蓉曾在美國硅谷求學和工作十多年，在2011年選擇回到家鄉武漢，進入華中科技大學。她告訴長江日報記者，心中從未斷過的“親情溶于水的家國情結”讓她堅定地做出這個決定。
“作為湖北武漢人，返回祖國，回到我的家鄉武漢，有一種踏實的歸屬感和幸福感。”陳蓉說，武漢承載著中部地區崛起、長江中游城市群協同發展、國家自主創新示范區等重大戰略任務。武漢作為國家科技創新中心，科教基礎雄厚，華中科技大學機械科學與工程學院更有著獨特的學科優勢和辦學風格，這讓她毫不猶豫選擇“從硅谷回到光谷”。
回國后，陳蓉十分忙碌，但她欣慰于學生的進步、城市的進步。2011年回國時，國內在ALD（原子層沉積）制造上相對空白。加入華中科大機械學院后，她有了一群非常能干的學生，他們一起科研攻關，如今不僅完成交叉學科融合的蛻變，形成自己的特色，更產生國際影響。
“比起美國成熟的體系，中國是在加速器上，變化天天可見。讓我特別自豪的是，經過這些年的發展，我們已經代表中國在國際標委會提出原子層沉積技術標準，并組織各個國家的專家一起推進。”
研究成果或突破集成電路制造技術難題
陳蓉教授的研究方向是“選擇性原子層沉積技術”，她被看作這項技術的開拓者。這種技術突破的是傳統“自上而下”的光刻-刻蝕等減材策略，另辟蹊徑以原子或分子為基本搭建“積木”單元實現“自下而上”的目標結構制造，通俗地講即是以原子或分子為“磚”來蓋納米結構的“大廈”。
全球原子層沉積技術主要用于集成電路制造，并拓展到光伏、顯示等半導體或泛半導體領域以及航空航天、能源環保等新興領域。基于原子層沉積技術的一系列原創成果，填補了國內技術空白，相關研究與國際上處于齊頭并進的態勢。
陳蓉教授介紹，目前她的“選擇性原子層沉積技術”在發光顯示等領域已經取得示范應用，有望推動微納制造領域深層次變革，突破集成電路制造中的瓶頸技術，對于解決芯片制造的卡脖子難題，爭取和提升集成電路制造的國際競爭力和話語權，具有十分重要的意義。
陳蓉團隊的科研工作受到了臺積電、三星、IMEC等業內頂尖企業引用并高度評價：選擇性沉積方法被認為是先進節點中的使能技術。
該技術“產學研用”轉化已在光谷啟動
“制造的核心和內涵，是要服務支柱行業面向國家重大需求和國民經濟主戰場。”陳蓉教授介紹道，目前，他們的研究工作有很大一部分與光電器件等緊密結合，這也是武漢光谷的重要產業。
陳蓉教授表示，光谷有一大批“芯屏網端”的高新技術企業和聯盟，如國家三維集成創新中心、武漢新芯、華星光電、京東方等。在各級政府大力支持下，高校開展基礎研究，企業開展技術孵化，有利于促進該技術盡快實現“產學研用”的轉化，搶占科技發展制高點。
目前，課題組已經與國家三維集成創新中心和部分芯片、存儲、顯示行業等高新科技企業開展了相關的合作研究。
這次獲獎后的獎金會怎么用？陳蓉教授坦言，300萬元獎金不算小數目，尤其對青年科研工作者，這樣的安排，對于青年科學家是充分的信任和激勵。“理想的科研狀態，是能夠體面地，心無旁騖地做自己最擅長、最有激情的創新，不必為了經費去奔波。我應該會利用獎金來支持課題組創新創業，讓我們的研究取得更大的突破。”
2021年“科學探索獎”獲獎名單
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